中圖激光共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果,在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié),顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像。它具有直觀測量的特點(diǎn),能夠有效提高工作效率,更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉測厚儀針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求,在自動拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。
中圖共聚焦顯微鏡VT6000系列擅長微納級粗糙輪廓的檢測,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
VT6000材料共聚焦顯微鏡具備一體化操作的測量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,軟件自動統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能;廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
中圖儀器VT6000系列3D超景深共聚焦顯微鏡設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,以及自動拼接功能,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
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