NS系列高精度探針式輪廓儀臺階儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。
NS200接觸探針式微納米測量臺階儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)。它利用光學(xué)干涉原理,通過測量膜層表面的臺階高度來計(jì)算出膜層的厚度,具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。
NS系列探針式高重復(fù)性臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
NS系列微觀二維形貌輪廓臺階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度。
NS系列探針式輪廓薄膜表面臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度,包括金屬、陶瓷、塑料等。
NS系列探針接觸式臺階高度儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。
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