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NS系列高精度探針式輪廓儀臺階儀采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

VT6000材料3D測量共聚焦顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

SuperViewW非接觸式3D白光干涉儀基于白光干涉原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

NS200接觸探針式微納米測量臺階儀采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。它利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。

VT6000共聚焦三維光學(xué)輪廓顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。

SuperViewW白光干涉3D材料表面輪廓儀采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法，真實還原樣品的每一個細(xì)節(jié)?？梢酝ㄟ^重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。