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SuperViewW微納米白光干涉三維形貌儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量?？蓽y(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

中圖儀器白光干涉儀國(guó)產(chǎn)三維形貌儀SuperViewW是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

SuperViewW納米級(jí)高精度白光干涉測(cè)量?jī)x用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理，可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉微納米三維形貌一鍵測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類(lèi)型，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。

中圖儀器SuperViewW白光三維測(cè)量系統(tǒng)基于白光干涉原理，能以3D非接觸方式對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。