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中圖儀器SuperViewW白光三維測(cè)量系統(tǒng)基于白光干涉原理，能以3D非接觸方式對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

VT6000三維共聚焦白光顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

中圖儀器VT6000共聚焦超分辨顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

NS系列國產(chǎn)膜厚檢測(cè)臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，可測(cè)量臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)。NS系列臺(tái)階儀采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

中圖儀器NS系列微觀表面測(cè)量臺(tái)階儀采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)，采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率。

VT6000轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。