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中圖儀器SJ6000高精密激光干涉測(cè)量?jī)x以光波為載體,其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
SJ6000中圖激光干涉儀機(jī)床校準(zhǔn)補(bǔ)償系統(tǒng)具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率。
SJ6000中圖激光干涉儀測(cè)量機(jī)床精度集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí)。儀器具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
中圖儀器SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀測(cè)量機(jī)床精度以光波為載體,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、最高測(cè)速下分辨率高等特點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
國(guó)產(chǎn)機(jī)床激光干涉儀sj6000除了環(huán)境適應(yīng)能力好,還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測(cè)量振動(dòng)幅度、平面度、線(xiàn)速度、角速度等。
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