SJ6000系列激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,滿足機(jī)床誤差修正的要求。具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備運(yùn)動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時也能檢測運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
回轉(zhuǎn)軸測量需借助WR50自動精密轉(zhuǎn)臺,與SJ6000角度測量配合使用。將WR50連接到回轉(zhuǎn)軸上,作為測角標(biāo)準(zhǔn)器,WR50可實(shí)現(xiàn)0~360°的角度測量范圍,±1″的測量精度,轉(zhuǎn)速為10rpm。
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