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SuperViewW1國產(chǎn)3d光學(xué)輪廓儀器是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量的檢測儀器。主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

SJ5700S輪廓度粗糙度一體測量儀采用進(jìn)口扇形光柵采集數(shù)據(jù)，測量量程大、精度高，整體系統(tǒng)裝調(diào)方便、操作簡單、測量效率高。能實(shí)現(xiàn)尺寸、形狀、粗糙度三個(gè)要素的精準(zhǔn)測量。

SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀器主要用于對(duì)樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺(tái)階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。

SuperView W1三維光學(xué)成像輪廓儀測粗糙度對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面粗糙度形貌的3D測量。

SuperViewW1非接觸式三維光學(xué)輪廓儀器可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測非常微小尺寸的器件。