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SJ5100-UP超高精度型光柵測長機采用超高精度長玻璃光柵尺作為長度方向定位,零膨脹超高精度光柵測量系統(tǒng),分辨力達(dá)到0.01μm,測量精度高,可進(jìn)行高精度全行程直接測量。
中圖儀器高精度光柵測長機采用高精度光柵測量系統(tǒng)、精密研磨導(dǎo)軌、高精度溫度及阿貝補償系統(tǒng)、雙向恒測力系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)各種長度參數(shù)的高精度測量。
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