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SuperViewW1光學(xué)表面輪廓測量儀對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行高品質(zhì)監(jiān)控時(shí)不需要取下產(chǎn)品或停止生產(chǎn),而且采用的是非接觸式光學(xué)測量,在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的同時(shí),不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成任何損傷,從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本,提高了生產(chǎn)效率,并且在線檢測,沒有滯后性,從而減少不合格品,對(duì)表面缺陷檢測亦如此。
SuperViewW1表面光學(xué)輪廓儀在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域,表面光學(xué)輪廓儀可以提供更高精度的檢測需求。還可以用自動(dòng)多區(qū)域測量功能,在樣品表面抽取多個(gè)測量區(qū)域進(jìn)行測量,從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析??梢蕴峁└呔鹊臋z測需求。
隨著白光干涉測量技術(shù)的發(fā)展和完善,白光干涉儀已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域,中圖的光學(xué)式表面粗糙度輪廓儀可以提供更高精度的檢測需求。
中圖SuperView W1 3d光學(xué)輪廓儀檢測儀器設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)。通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。各類干涉物鏡還決定了系統(tǒng)很多關(guān)鍵性能,如光學(xué)分辨率,工作距離,齊焦距離,坡度能力,視場范圍等等。中圖儀器提供豐富的各類物鏡選擇,以滿足最挑戰(zhàn)的測試需求。
SuperView W3 非接觸光學(xué)輪廓儀可對(duì)測試樣品的表面微納形貌特征進(jìn)行測量和分析,具有測量準(zhǔn)確度高、應(yīng)用范圍廣、智能化水平高等特點(diǎn)。產(chǎn)品經(jīng)深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測研究院計(jì)量校準(zhǔn),技術(shù)指標(biāo)參數(shù)滿足相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。
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