光柵測長機(jī)是一種高精度測量設(shè)備，常用于工業(yè)生產(chǎn)中對物體長度、角度和位置等參數(shù)的精確測量。其原理是利用光柵的干涉作用，通過光電檢測器將光信號轉(zhuǎn)化為電信號，并經(jīng)過計(jì)算得出被測物體的尺寸。具有高精度、高速度、非接觸式測量等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、電子制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)等領(lǐng)域。其測量精度通?？蛇_(dá)到亞微米級別，可以滿足大多數(shù)工業(yè)生產(chǎn)對尺寸精度的要求。

中圖儀器SJ5160全自動(dòng)光柵式測長機(jī)采用超高精度光柵式全自動(dòng)接觸式測量，零膨脹超高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達(dá)到0.001μm，測量精度高。

性能特點(diǎn)

1.  全程直接測量：

SJ5160系列超高精度全自動(dòng)光柵測長機(jī)采用超高精度進(jìn)口長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進(jìn)行符合阿貝原理超高精度全自動(dòng)測量。

2.  高精度、高穩(wěn)定性：

1)零膨脹超高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達(dá)到0.001μm，測量精度高；

2)高精密特制研磨級直線導(dǎo)軌系統(tǒng)，導(dǎo)軌直線度高，導(dǎo)軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；

3)進(jìn)口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數(shù)據(jù)的真實(shí)采集；

4)采用高精度穩(wěn)定的大理石基座，保證了在頭座及五軸工作臺的移動(dòng)過程中不會產(chǎn)生變形以及儀器不受外界震動(dòng)干擾，保證了儀器的穩(wěn)定可靠；

3.  全自動(dòng)調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測力系統(tǒng)：

1) 全自動(dòng)調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測力系統(tǒng)，采用特殊及雙向受力彈性結(jié)構(gòu)，測力恒定性好，減小了測力對測量結(jié)果的影響，全自動(dòng)伺服驅(qū)動(dòng)控制測力及光柵反饋測力位置，保證了高的系統(tǒng)測量重復(fù)性精度；

2) 電子測力通過調(diào)節(jié)桿全自動(dòng)伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)控制連續(xù)可調(diào)；

3) 電子測力傳感器原理避免了儀器臺面不水平及環(huán)境振動(dòng)引起的測力變化帶來的測量誤差。

4.  零測力修正系統(tǒng)：

1) 準(zhǔn)確的電子測力技術(shù)，能準(zhǔn)確的讀取到當(dāng)前的；

2) 零測量力修正，根據(jù)被測件測量時(shí)的測針、測帽形狀及被測件尺寸進(jìn)行測力變形量修正。

5.  全自動(dòng)測量系統(tǒng)：

1) 帶自動(dòng)掃描功能，可自動(dòng)掃描各種量規(guī)、量塊、量具，根據(jù)軟件自動(dòng)定義流程進(jìn)行全自動(dòng)、半自動(dòng)掃描；

2) 智能測力檢測系統(tǒng)，防止誤操作撞機(jī)，測力接觸自動(dòng)停止，自動(dòng)采樣并自動(dòng)得到測量結(jié)果。

6.  智能化管理與檢測軟件系統(tǒng)：

1)儀器操作界面友好，操作者很容易即可基本掌握儀器操作，使用十分簡便；

2)10多年積累的實(shí)用檢定軟件設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，向客戶提供簡潔、實(shí)用、快速的操作體驗(yàn)；

3)集成眾多長度標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)程，功能強(qiáng)大、自動(dòng)處理數(shù)據(jù)、打印各種格式的檢定報(bào)告，自動(dòng)顯示、打印、保存、查詢檢定記錄；

4)測量范圍廣，可滿足絕大多數(shù)類型的量規(guī)、量塊等長度參數(shù)測量；

5)軟件配備快速找拐點(diǎn)指示功能，方便客戶快速便攜地找到被測件的拐點(diǎn)；

6)純中文操作軟件系統(tǒng)，更好的為國內(nèi)用戶服務(wù)；

7)打印格式正規(guī)、美觀。檢定數(shù)據(jù)可存檔，或集中打印，不占用檢定操作時(shí)間；

8)本儀器采用計(jì)算機(jī)大容量數(shù)據(jù)庫儲存，可自動(dòng)記錄保存所有檢定結(jié)果。

7.  高性能CNC五軸工作臺：

1)X，Y，Z三軸采用高性能交叉滾子導(dǎo)軌：摩擦力極小，穩(wěn)定性好，承載高；

2)Y軸、Z軸采用全自動(dòng)直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)控制，光柵反饋實(shí)時(shí)位置可自動(dòng)找到拐點(diǎn)并記錄拐點(diǎn)位置，調(diào)節(jié)細(xì)度高，能夠全自動(dòng)準(zhǔn)確的找到拐點(diǎn)；

3)Z軸及Y軸配置有光柵系統(tǒng)，可連接將數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X，可用于錐度量規(guī)及工件的測量。

8.  高性能螺紋環(huán)規(guī)測量裝置：

配置高性能超高進(jìn)度螺紋環(huán)規(guī)測量裝置，可測量小螺紋環(huán)規(guī)，同時(shí)可完成極小的光滑環(huán)規(guī)檢測；測量重復(fù)性（2S）可達(dá)0.12μm以內(nèi)；測量力為電子測力，軟件界面內(nèi)可自由設(shè)置，設(shè)置較小測力可用于超薄壁工件測量；

操作過程

操作者裝好被測件，在檢測軟件上選擇被測件的標(biāo)準(zhǔn)和輸入被測件的規(guī)格等參數(shù)后，軟件控制全自動(dòng)移動(dòng)頭座接觸被測件，全自動(dòng)調(diào)整五軸工作臺找到拐點(diǎn)，采樣完成得到當(dāng)前測量數(shù)據(jù)，系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)顯示測量結(jié)果，自動(dòng)計(jì)算出被測件的各項(xiàng)參數(shù)（如檢測螺紋規(guī)，則可換算顯示出螺紋中徑），并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫對被測件的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行合格判定，整個(gè)測量過程不超過4分鐘，檢測結(jié)束后自動(dòng)生成檢定結(jié)果。

SJ5160全自動(dòng)光柵式測長機(jī)具有超高精度、全自動(dòng)、功能強(qiáng)、電子測力等優(yōu)點(diǎn)，能夠檢定超高精密量具、量規(guī)，如塊規(guī)、環(huán)規(guī)、塞規(guī)、卡規(guī)、螺紋規(guī)。還可以檢測各種高精密工件內(nèi)外尺寸及高精度薄壁零件內(nèi)外徑尺寸等，具有超高精度、人為干擾少、穩(wěn)定性強(qiáng)等特點(diǎn)。可操作性能強(qiáng)，是一臺超高精度、全自動(dòng)的光柵測長機(jī)，譬如全自動(dòng)接觸、智能找拐點(diǎn)，全自動(dòng)光滑、螺紋環(huán)規(guī)、孔徑測量等，操作人員在使用儀器過程中，只需將工件移動(dòng)到位置，輸入被測件參數(shù)，通過智能測力識別方式防誤操作撞針，真正做到無損傷測量，真正實(shí)現(xiàn)一鍵測量。廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造業(yè)、工具、量具制造業(yè)及儀器儀表制造業(yè)等企業(yè)的計(jì)量室和各級計(jì)量鑒定部門。

主要技術(shù)指標(biāo)

應(yīng)用

機(jī)械制造：在機(jī)械制造過程中，可以用來測量各種零件的尺寸和形狀，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。

半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。

光學(xué)加工：在光學(xué)加工領(lǐng)域中，可以用來測量光學(xué)元件的表面形貌和厚度等參數(shù)。

航空航天：在航空航天領(lǐng)域中，可以用來測量航空器的外形和尺寸，以及檢測零部件之間的配合精度。