使測(cè)量速度、精確度都大大提高。新機(jī)床出廠前都要進(jìn)行定位精度和重復(fù)定位精度以及反向間隙的檢測(cè)，現(xiàn)在大多使用激光干涉儀進(jìn)行；不管是三軸聯(lián)動(dòng)、五軸聯(lián)動(dòng)還是九軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控機(jī)床，機(jī)床在進(jìn)行了長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行加工都會(huì)因?yàn)閷?dǎo)軌滾珠絲桿的磨損等綜合因素，有一定的偏差，導(dǎo)致數(shù)控機(jī)床的加工精度逐漸偏離標(biāo)準(zhǔn)。激光干涉儀的用途就是專門用來(lái)測(cè)量、校準(zhǔn)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)、自動(dòng)化設(shè)備等導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度，尤其是在數(shù)控機(jī)床領(lǐng)域，激光干涉儀是強(qiáng)有力的檢測(cè)儀器。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000深圳工業(yè)激光干涉儀，能對(duì)機(jī)床進(jìn)行校準(zhǔn)、補(bǔ)償，可以與機(jī)床系統(tǒng)對(duì)接進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)量，將測(cè)量誤差導(dǎo)入到數(shù)控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)精度自動(dòng)補(bǔ)償。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：SJ6000

產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測(cè)量距離：（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）

角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測(cè)量分辨力：1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便

技術(shù)參數(shù)

SJ6000深圳工業(yè)激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。也可以實(shí)現(xiàn)一次安裝即可沿任意方向的線性軸同時(shí)測(cè)量5個(gè)自由度的誤差，包括1個(gè)線性誤差、2個(gè)角度誤差和2個(gè)直線度誤差。

測(cè)量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度

測(cè)量機(jī)床偏擺角度

數(shù)控機(jī)床精度校準(zhǔn)

產(chǎn)品配置與證書(shū)

中圖儀器一直以實(shí)現(xiàn)高精密儀器自主化為己任，在以往中國(guó)市場(chǎng)都是國(guó)外品牌的激光干涉儀情況下，推出SJ6000激光干涉儀。客戶對(duì)我們的認(rèn)可是我們不斷前行的動(dòng)力！未來(lái)，中圖儀器還將專注于精密測(cè)量檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展，自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新！