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中圖儀器SuperViewW1國產(chǎn)3D三維光學(xué)表面輪廓儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1國產(chǎn)自研三維光學(xué)輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

中圖儀器SJ5800表面粗糙度檢測儀器采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè)。儀器分辨率高達到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。

SJ5800系列接觸式高精度粗糙度輪廓儀具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，專業(yè)測試軸承內(nèi)外側(cè)。輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊。可以對零件表面，尤其是大范圍曲面，如圓弧面和球面、異型曲面等進行檢測，是大曲面測量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領(lǐng)域精細粗糙度測量的利器。

中圖儀器SuperViewW1白光3D輪廓儀的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙。

中圖儀器SJ5800軸承滾道PtRa粗糙度輪廓測量儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)對軸承及工件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。儀器具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，分辨率高達到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊。