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SJ5730-100高精密輪廓測(cè)量?jī)x是一款集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量?jī)x器?？蓮V泛應(yīng)用于精密機(jī)械加工、汽車(chē)、軸承、機(jī)床、模具、精密五金、光學(xué)加工等行業(yè)。該儀器可以對(duì)零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測(cè)量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度檢測(cè)，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)的測(cè)量。同時(shí)儀器還可對(duì)各種精密零件輪廓度、波紋度進(jìn)行測(cè)量，對(duì)形狀參數(shù)進(jìn)行分析。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

SuperViewW1-Pro三維輪廓形貌測(cè)量?jī)x是以白光干涉技術(shù)為原理的一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器?？梢詼y(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為200×200㎜，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。

中圖儀器大量程輪廓測(cè)量?jī)x是測(cè)量各種機(jī)械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備。該儀器工作臺(tái)采用高精度的橫向氣浮道軌和滾動(dòng)垂直道軌，移動(dòng)精度高、穩(wěn)定性好、壽命長(zhǎng)；測(cè)量效率高、操作簡(jiǎn)單、適用于車(chē)間檢測(cè)站或計(jì)量室使用。

SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一。

3d光學(xué)干涉輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。