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SuperViewW1光學(xué)表面3D輪廓儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高；具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SJ5800接觸式輪廓測量儀具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測量范圍，分辨率達(dá)到0.1nm，是大曲面測量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、光學(xué)鏡片）領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測量的利器。適合測量大曲面高精密零部件的輪廓參數(shù)測量，同時(shí)具備球面、弧面、非球面輪廓參數(shù)評價(jià)功能，能夠滿足各種高精密輪廓粗糙度加工行業(yè)的測量需求。

中圖儀器SJ5800系列粗糙度輪廓一體式測量儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的高精度測量儀器；采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高穩(wěn)定性氣浮隔振系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對球面及非球面光學(xué)元器件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。

SuperViewW1三維光學(xué)表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SJ5800系列表面輪廓粗糙度儀具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測量范圍，分辨率達(dá)到0.1nm，因此非常適合測量大曲面高精密零部件的輪廓參數(shù)測量，同時(shí)具備專業(yè)的球面、弧面、非球面輪廓參數(shù)評價(jià)功能，能夠滿足各種高精密輪廓粗糙度加工行業(yè)的測量需求。是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的高精度測量儀器。

SJ5800系列輪廓儀測粗糙度是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的高精度測量儀器。超高精度衍射光學(xué)測量系統(tǒng)，具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，分辨率高達(dá)0.1nm，系統(tǒng)殘差小于2nm。