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SJ6000激光干涉儀精密測量儀器的測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補償表，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

中圖儀器GTS激光跟蹤儀設(shè)備將干涉測長的及時修正速度與絕對測距功能相結(jié)合，保證測量精度，并實現(xiàn)擋光恢復(fù)。在斷光時會在小范圍內(nèi)自動搜索到目標(biāo)球，完成斷光續(xù)接，自動鎖定目標(biāo)球，全過程不需人為操作，提高測量效率。

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

GTS激光跟蹤測量儀將干涉測長的及時修正速度與絕對測距功能相結(jié)合，保證測量精度，并實現(xiàn)擋光恢復(fù)。不僅可以對靜止的空間目標(biāo)進行高精度三維測量，還可以對運動的目標(biāo)進行跟蹤測量。

SJ6000激光干涉測量儀在數(shù)控機床精度測量方面，豐富的模塊化組件可根據(jù)具體測量需求而選擇，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術(shù)。

中圖儀器激光干涉儀器設(shè)備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強，降低了對環(huán)境條件的要求，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。