下面我們?nèi)タ纯磧x器的工作原理：

　　它是利用光學(xué)顯微技術(shù)、白光干涉掃描技術(shù)、計(jì)算機(jī)軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對(duì)工件進(jìn)行非接觸測(cè)量，還原出工件3D表面形貌宏微觀信息，并通過(guò)軟件提供的多種工具對(duì)表面形貌進(jìn)行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理，實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面形貌的微納米測(cè)量和分析的光學(xué)計(jì)量?jī)x器。

　　

　　光學(xué)3D輪廓測(cè)量?jī)x只需操作者裝好被測(cè)工件，在檢定軟件上設(shè)定物鏡倍率和測(cè)量模式后點(diǎn)擊“開始”按鈕，光學(xué)物鏡會(huì)對(duì)工件表面進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦和非接觸掃描，并按設(shè)定的位置進(jìn)行測(cè)量，軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)掃描物體宏微觀表面形貌；掃描結(jié)束后，操作者可通過(guò)分析工具對(duì)生成的3D形貌進(jìn)行分析，得到如輪廓、厚度、粗糙度、體積等多種表面形貌測(cè)量分析數(shù)據(jù)。

　　

　　三維表面輪廓儀根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算2D和3D參數(shù)，使用的ISO25178標(biāo)準(zhǔn)表面紋理分析，依靠的ISO16610濾除技術(shù)進(jìn)行計(jì)算，從而保證了國(guó)際公信力。

　　

　　廣泛用于：

　　磨料磨具，航天，汽車，化妝品，能源，醫(yī)療，微機(jī)電系統(tǒng)，冶金，造紙和塑料等領(lǐng)域。