激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。廣泛應(yīng)用于光學、機械、電子等各種領(lǐng)域的測量。其中,平行度和垂直度的測量是激光干涉儀的重要應(yīng)用之一。
傳統(tǒng)的測量方法通常采用機械測量或光學測量,但這些方法存在著精度低、誤差大、易受環(huán)境影響等缺點。而激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸性等優(yōu)點,能夠?qū)崿F(xiàn)平行度和垂直度的高精度測量。
平行度測量是在直線度測量的基礎(chǔ)上而擴展的應(yīng)用。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成,參見下面平行度測量光路原理構(gòu)件圖,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準,在測量過程中保持原位,且不進行調(diào)整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ2。
平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組(或長直線度鏡組)、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。
垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成,詳見下面垂直度測量光路原理構(gòu)件圖,其中直線度反射鏡作為共同的參考基準,在測量過程中保持原位,且不進行調(diào)整;光學角尺用于至少在其中一次直線度測量中,允許調(diào)整激光束與軸的準直。垂直度誤差=光學直角尺誤差-斜度θ1-斜度θ2。
垂直度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組(或長直線度鏡組)、垂直度鏡組(含光學直角尺)、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。
1. 高精度
SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,精度可以達到納米級別,可以準確地測量出平行度和垂直度的微小變化。
2. 非接觸性
SJ6000激光干涉儀不需要接觸被測物體,不會對被測物體產(chǎn)生影響,也不會因為磨損而導致誤差。
3. 快速穩(wěn)定
SJ6000激光干涉儀采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率,測量速度非???;而且干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,干涉光路穩(wěn)定可靠,保證了長時間的穩(wěn)定測量。
4. 適用范圍廣
激光干涉儀可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
總之,激光干涉儀是一種強大的測量工具,可以廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域的平行度和垂直度測量工作。它的出現(xiàn)為各種精密制造和科學實驗提供了強有力的技術(shù)支持。
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