在半導(dǎo)體、超精密加工及微納材料等領(lǐng)域,器件的表面質(zhì)量直接關(guān)系著后期的產(chǎn)品質(zhì)量和研究成果,中圖儀器SuperView W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀,是一款分辨率達(dá)到亞納米級(jí)別的光學(xué)檢測儀器,助您輕松實(shí)現(xiàn)2D/3D表面粗糙度、輪廓測量,超高精度,“納”么簡單。
采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法,真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié),隨意翻轉(zhuǎn)縮放,助您輕松觀察、測量樣品的任意特征。
粗糙度、平面度、孔洞分析、頂點(diǎn)分析等3D測量功能全部囊括,距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能*覆蓋,更有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種特征參數(shù),讓您對樣品的了解細(xì)致入微。
直觀的操作界面,讓您對操作流程一目了然,自動(dòng)聚焦,助您一鍵實(shí)現(xiàn)測量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的同步分析功能,更有一鍵分析功能,批量測量不用愁。
采用了高精度掃描模塊和*的內(nèi)部抗振設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)zui高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性,詮釋始終如一的測量品質(zhì)。
W1系列光學(xué)3D表面輪廓儀提供1100單鏡頭手動(dòng)版和1200多鏡頭自動(dòng)版兩種機(jī)型,另可針對不同的客戶需求,在兩種型號(hào)間選取不同配置進(jìn)行組合,讓儀器切合客戶需求,貼心更省力。
可測2D/3D輪廓、粗糙度,300余種特征參數(shù)……光學(xué)3D表面輪廓儀在半導(dǎo)體、超精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用,超光滑硅晶片表面粗糙度、超精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑……一個(gè)個(gè)來自客戶的實(shí)際應(yīng)用案例,讓我們對這款產(chǎn)品充滿信心,全程跟進(jìn)的,為您提供zui貼心的服務(wù)。
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